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贴合式兆声清洗头概述
槽式兆声清洗的优点在于其兆声换能器面积较大，可以大面积辐射兆声声场，从而更的进行清洗。但缺点是兆声声场在水槽中分布不均匀，距离换能器越远声强越弱，同时声能传递效率较低。喷淋式兆声清洗的优点在于可直接将兆声能量聚焦在清洗物表面，从而可通过运动清洗物和喷头实现清洗物表面均匀的声场分布，且声能传递效率较高。但喷淋式需要较大的清洗液流量，对清洗液浪费较大，并且喷淋式兆声换能器面积较小，从而声能辐射面积较小，清洗速度较慢。
贴合式兆声清洗是一种吸取了槽式和喷淋式两种兆声清洗的优点并摒弃了二者缺点的更优化的兆声清洗技术。它可以以相对大的面积直接将兆声声能均匀的传递到晶圆表面，具有非常高的传递效率和声场均匀性，同时非常节省清洗液。
超声波清洗
清洗介质：采用超声波清洗，一般有两类清洗剂即化学溶剂和水基清洗剂。清洗介质的化学作用可以加速超声波清洗效果，超声波清洗是物理作用，两种作用相结合，依对物件进行充分、的清洗。功率密度：超声波的功率密度越高，空化效果越强，速度越快，清洗效果越好，但对于精密的表面光洁度甚高的物件，采用长时间的高功率密度清洗会对物件表面产生空化、腐蚀。超声频率：适用于工件粗、脏、初洗，频率高则超声波方向性强，适合于精细的物件清洗。清洗高温：一般来说，超声波在30℃~40℃时的空化效果，清洗剂也不是温度越高，作用越显著，有可能会高温失效，通常超声波在超过85°C时，清洗效果已变差。所以实际应用超声波清洗时，采用50°C~70°C的工作温度。
超声波清洗历史发展
技术早出现于20世纪30年代早期,当时,位于美国新泽西州的美国无线电公司的一个实验室中的技术人员尝试用自制的简陋超声波清洗系统清洗某些物体,但试验未获成功。在此基础上,超声波清洗技术在20世纪50年代有了很大的发展,当时使用的超声波工作频率在20～ 40 kHz之间。该范围内的超声波被应用在数千种不同的工作场合下,其中许多是别的清洗手段不能很好发挥作用的场合。超声波可以对工件施加非常巨大的能量,尤其适用于清除牢固地附着在基底上的污垢。然而在某些情况下,超声波强大的能量也会损伤粘有污垢而性质脆弱的基底材料。在过去的十几年中,超声波领域中出现了一些技术革新,提高了清除敏感基底上的污物的安全系数。在此期间,超声波技术,特别是中高频超声波清洗技术有了新的发展,并成为行业的亮点。近年来,人们发现用兆声波(根据超声波的频率不同,把40 kHz及其以下的称为常规或低频超声波,把1 000 kHz以上的称为高频超声波,又称兆频超声波,简称兆声波)清洗可以去除掉半导体材料表面上的超细污垢微粒,并且不会损伤基底材料的表面。目前这项技术已经得到了很快的普及。
超声波清洗的构成
超声波清洗机由以下几部分组成:1)超声波系统:包括换能器和超声波发生器。(1)换能器:换能器采用特种耐高温、耐振动、高粘度的树脂胶辅以特殊的方法加以固定,脱落,且可耐受100℃～150℃的高温。(2)超声波发生器:大功率超声波发生器可由超音频IGBT电力电子器件为主要元件构成,该种超声波发生器电路先进,结构完整,辅以灵敏可靠的集成控制系统。各种超声波发生器可独立工作,亦可多组并联使用,以完成大规模清洗工程。2)加热及温度控制系统。加热器通常采用不锈钢管材制成,可耐酸碱。加热的目的是将清洗剂加热以增加清洗机的洗涤效果。温度自动控制,可在适当范围内随意调整。3)清洗槽:清洗槽一般采用不锈钢经弧焊焊制而成,槽体上设置有排渣检修口、保温隔声层等,要保证水位至少应高出换能器盒200 mm以上。
